Multipoint Analysis
USER'S MANUAL
인텍코포레이션
경기도 수원시 팔달구 인계동 1122-10
삼호타워 616호
TEL:031-237-1411 FAX:031-237-1410
9499.200.52050
Revision 3.00
June 1998
TABLE OF CONTENTS
1 INTRODUCTION ...... 9
2 FEATURES...... 11
3 MULTIPOINT ANALYSIS SOFTWARE INSTALLATION ...... 13
Mulitipoint Option Disks...... 14
4 STEP BY STEP PROCEDURES ...... 16
To Collect Identify and Quantify a Spectra...... 16
To Acquire LineScan Data from Microscope...... 17
To Read a stored LineScan from a file...... 18
To Perform a Multipoint Automated Beam Analysis...... 19
To perform an Automated Analysis with STAGE and BEAM
Locations ...... 21
MULTIPOINT ANALYSIS ...... 23
5 MENU OPERATIONS...... 24
FILE...... 24
FILE ...... 24
Open......... 24
Save as... ...... 24
Get Current Setting ...... 26
Print Output......... 26
Print Setup ...... 26
To Clipboard...... 27
SETUP...... 29
Preset & Memory......... 29
Detector......... 29
Edam & Calib......... 29
Display & Color......... 29
Visual... ...... 29
SCA & Ratemeter... ...... 29
Other Options ...... 29
Match Control ...... 29
kV and Distance ...... 29
Edit Table ...... 30
Edit Mass Abs Coef. ...... 30
Auto Output ...... 30
Show Conc Bar...... 30
Get Roi Data ...... 30
IDENTIFICATION...... 30
QUANTITATION ...... 30
CONCENTRATIONS...... 30
IMAGE...... 31
IMAGE...... 31
Collect ...... 31
Continuous ...... 31
Display Current ...... 31
SuperImpose...... 31
1024 Collection...... 31
Image Conditions ...... 31
LScan Conditions ...... 31
Drift Correction Overview...... 32
Drift Correction Step by Step ...... 35
LOCA - S (LOCATION)...... 36
LOCA - S (LOCATION)...... 36
Table ...... 36
Spot ...... 37
Line ...... 37
Matrix ...... 37
Line with P1, P2 ...... 37
Fixed Horz Line ...... 37
Random...... 38
Show All Locations...... 38
Show Location & Numbers...... 38
Photo Playback...... 38
Photo Video ...... 39
AUTO...... 40
AUTO...... 40
Start Auto...... 40
End Auto...... 40
Summary...... 40
View Parameters...... 40
SCAN-F...... 41
SCAN-F...... 41
Spot ...... 41
Reduced Raster...... 41
Full...... 41
Set Reduced Size...... 41
STAGE...... 41
STAGE OPTION ...... 41
HELP ...... 41
6 GRAPHICAL DIALOG OVERVIEWS ...... 43
TOOL BAR...... 44
Start...... 44
Clear...... 44
Spectrum Control Buttons...... 44
Image Acquire Button...... 44
Img...... 45
Rmv ...... 45
Spectrum Text...... 45
Spectrum Manipulation ...... 47
Rubberband Methods ...... 47
SPECTRUM READ DIALOG BOX...... 49
SPC READ DIALOG BOX...... 49
PRINT OUTPUT... DIALOG BOX...... 50
PRINT OUTPUT... DIALOG BOX ...... 50
Screen Radio Buuton ...... 50
Spectrum / Image Radio Button ...... 50
Screen Resolution...... 50
Spectrum Draw Type...... 51
Intensity ...... 51
Plot Size ...... 51
Text Output...... 51
ClipBoard...... 52
WINDOWS PRINTER SETUP...... 52
PRESET & MEMORY ...... 53
PRESET& MEMORY ...... 53
DETECTOR SETUP PARAMETERS...... 55
EDAM CONTROL AND SPECTRUM ENERGY CALIBRATION57
EDAM CONTROL ...... 57
Detector Number ...... 57
EV per Channel...... 57
Time Constant ...... 58
Calibration...... 58
Auto ...... 58
Stop...... 59
Manual...... 59
Peak 1 ...... 59
Peak 2 ...... 59
Max Height...... 59
Iter Number...... 59
Resolution...... 59
Print...... 60
Peaks...... 61
DISPLAY & COLOR ...... 62
Max Peak Height...... 63
KeV Range...... 63
Grid ...... 63
MCA Color...... 63
VISUAL...... 64
VISUAL ...... 64
SCA & RATE METER ...... 67
SCA & RATE METER ...... 67
Reset...... 67
Set EDAM...... 67
Clear...... 68
Ratemeter ...... 69
Ramp...... 69
Pattern...... 69
Auto Button ...... 69
Full Scale...... 70
Integration Time...... 70
Threshold...... 70
OTHER SYSTEM OPTIONS...... 71
OTHER SYSTEM OPTIONS...... 71
Peak ID Chr...... 71
Extra Display ...... 71
Warning Beep...... 72
Finish Tone ...... 72
Ratemeter Tone ...... 72
Show Scan Line...... 72
Keep Extra Conc...... 72
Preset Time Beep...... 73
Set CSV Output...... 73
HOW TO USE THE SIMPLFIED AUTO MODE OF MULTIPOINT
ANALYSIS...... 74
MICROSCOPE CONDITIONS AND DISTANCE
MEASUREMENTS ...... 75
CONDITIONS AND DISTANCE MEASUREMENTS...... 75
Spc kV...... 75
To Calibrate...... 76
To Measure a sample feature...... 76
Micron Marker ...... 76
Use Calc.D in LScan ...... 76
TAKE OFF ANGLE CALCULATION ...... 78
TAKE OFF ANGLE CALC...... 78
EXAMPLE OF EDAX DETECTOR GEOMETRY...... 79
DETECTOR GEOMETRY ...... 79
EDIT QUANTITATIVE PARAMETERS TABLE ...... 80
EDIT QUANTITATIVE PARAMETERS TABLE ...... 80
EDIT MASS ABSORPTION COEFFICIENTS...... 85
EDIT MASS ABSORPTION COEFFICENTS ...... 85
AUTOMATION OUTPUT SETUP...... 86
AUTO OUTPUT SETUP ...... 86
Process Options ...... 86
Auto Peak ID ...... 86
Save Spectra ...... 87
Intensity Only ...... 87
Conc. Calc ...... 87
Auto Print Spectra ...... 87
File Button...... 88
Live X-Ray ...... 89
INPUT SPECTRA...... 89
Live X-Ray ...... 89
Auto Beam Control...... 89
Use Stage Control...... 89
KV OFF After Autorun ...... 89
Auto Repeat ...... 90
CONCENTRATION SPECTRUM BAR...... 91
CONC SPECTRUM BAR...... 91
GET ROI DATA...... 92
GET ROI DATA...... 92
PEAK IDENTIFICATION ...... 94
PEAK IDENTIFICATION...... 94
Auto...... 94
Clear All...... 94
SPECTRUM MATCHING...... 96
SPECTRUM MATCHING...... 96
QUANTITATION ...... 98
Inte-N...... 99
Conc...... 100
Result ...... 100
Option ...... 100
SEM QUANTITATIVE OPTIONS FOR MULTIPOINT
ANALYSIS ...... 101
SEM QUANTITATIVE OPTIONS...... 101
BG Method ...... 101
Sample ...... 101
Normalize...... 101
Std Method...... 101
Use SEC...... 102
Bulk Matrix Corr...... 102
Oxide...... 102
Compound ...... 102
HOW TO USE THE COMPOUND STANDARDS METHOD...... 103
SEM ELECTRON BEAM & COATINGS CORRECTIONS...... 106
TEM QUANTITATIVE OPTIONS FOR MATERIALS...... 108
TEM QUANTITATIVE OPTIONS...... 108
BG Method ...... 108
Sample ...... 108
KAB Button ...... 108
Oxide...... 109
Mthin Correction...... 109
Calc Method ...... 109
Abs Terms :...... 109
XEDS IN AEM USING THE IONIC COMPOUND METHOD FOR
QUANTITATIVE ANALYSIS ...... 110
THE IONIC COMPOUND METHOD...... 110
QUANTITATIVE RESULTS TABLE...... 114
Print ...... 114
Form-Feed...... 114
Copy ...... 114
CSV...... 115
Options...... 115
Oxide...... 118
Oxy by Diff...... 118
At% Term...... 118
Chem Formula ...... 118
# of Prints per Form Feed...... 119
Graph...... 120
EXAMPLES OF GRAPH OUTPUT...... 122
Phi(rz) ...... 123
IMAGE & LSCAN CONDITIONS (& COLLECTION) ...... 124
IMAGE & LINESCAN CONDITIONS...... 124
Mode ...... 124
ADC ...... 124
Size ...... 124
Dwell ...... 124
Reads...... 124
Lscan Width...... 125
Position Button...... 125
StartLScan Button...... 125
Reset Button...... 126
Display Button...... 126
BEAM LOCATION TABLE...... 127
BEAM LOCATION TABLE...... 127
AUTO ANALYSIS SUMMARY TABLE...... 130
ANALYSIS SUMMARY TABLE ...... 130
Copy ...... 130
Map-Copy ...... 131
Print Selected...... 133
Unit ...... 133
Graph...... 134
VIEW PARAMETERS ...... 135
Print ...... 135
LINESCAN DISPLAY ...... 136
LINESCAN DISPLAY ...... 136
Element ...... 137
Scale ...... 137
ImgOvly...... 138
Print ...... 139
Help...... 139
STAGE CONTROL DIALOG (OPTIONAL) ...... 141
STAGE CONTROL DIALOG ...... 141
QUANTITATIVE EDX IN THE LOW - VACUUM SEM -
THEORY...... 145
MULTIPOINT ANALYSIS ABOUT BOX...... 151
1 INTRODUCTION
Multipoint Analysis는 multipoint quantitative elemental analysis를 하는데 쓰는 자동화된 EDX spectral analysis program입니다. 실행시에 multipoint Analysis는 EDAX Imaging System을 사용해서 현미경 빔의 위치를 조절합니다. 사용되는 시료의 종류에 따라서, Multipoint Analysis에는 2가지 주된 버전이 있는데 SEM Multipoint Analysis는 일반적인 SEM EDAX-ZAF, PhiZaf와 PhiRhoZ methods를 사용하고, TEM Multipoint Analysis Materials를 TEM material THIN method를 위해서 쓰입니다. 대부분의 software functions는 모든 버전에서 같을 것이고, 그래서 Multipoint Analysis에서 전체적으로 이 매뉴얼이 사용될 것입니다. 사용할 수 있는 이름은 SEM의 Auto32S.exe와 TEM의 Auto32M.exe입니다.
얻어진 이미지에서 multiple point의 점, 선, 격자의 위치를 선택할 수가 있습니다. 프로그램은 각 위치에 대해서 연속적으로 자동 분석을 할 것이고 측정된 스펙트럼과 그것들의 계산된 결과들은 디스크와 Microsoft Excel에서 활용할 수 있는 spread sheet의 list로 저장됩니다.
Multipoint Analysis는 setup of EDX parameters, live spectral collection, spectral manipulation, Peak ID, background removal, intensity, concentration calculations들과 같은 모든 일반적인 EDX functions을 가지고 있으며 마우스를 한번 클릭하는 것만으로도 모든 요구되는 계산을 수행할 수 있습니다.
이미지 이동의 문제들을 가능하게 하기 위해서는, 스펙트럼이 먼저 수집되고, 디스크에 저장되어야 합니다. 그런 후에, 자동 진행에 의해서 concentration results가 계산되고, 산출된 형식으로 그것들이 표시됩니다.
Multipoint Analysis의 Drift Correction, LineScan, Spectral Mapping/Data Recovery, SEM’s PhiZaf Quantification, Phi
RhoZ Quantification등의 가능한 옵션 5가지가 있습니다.
Multipoint Analysis는 Live Updating에 의한 Qualitative/Quantitative profiles를 모으고 표시할 수 있는 매우 유연한 Line Scan option을 가졌으며 또한 얻어진 이미지 위에다가 이런 profiles를 바로 첨가할 수 있는 기능이 있습니다. Spectral Mapping/Data Recovery는 처음으로 정해진 element list가 없는 map에다가 각각의 pixel들의 스펙트럼을 저장합니다. 모든 데이터의 실행을 위한 부수적인 것들도 나중에 실행될 recall을 위해서 함께 저장되는데 이것은 실행 후에 사용자에게 spectra, line scans, conventional maps, quantitative maps를 만들 수 있게 하는 옵션을 제공합니다.
2 Multipoint Analysis FEATURES
.전체 스펙트럼의 Mapping(선택적으로 가능).
.Combined Stage, Beam Automation
.같은 영역에서 spectrum data와 image data를 볼수있는 첨가 모드에서 고배율의 이미지(1024x800)를 얻을 수 있습니다.
.5와 10 eV per channel 양쪽 모두에서 Qualitative & Quantitative Spectral Analysis를 수행할 수 있습니다.
.Clipboard의 data를 Microsoft Office에 옮겨서 쉽게 사용할 수 있습니다.
.자동, 수동 Peak Identification.
.현미경 빔의 수동조정:Spot, Reduced Paster or Full Raster modes.
.노이즈가 생기는 것을 감소시키도록 다중 평균적으로 읽어들이는 능력을 가지며 256x200, 512x400의 2가지 size의 Image collection과 이미지들은 윈도의 기본 BMP 파일형식으로 저장될 수 있습니다.
.Standards없이, Compound Stndards, pure Element Standards를 가지고 Full Bulk Quant수행.
.각 points, line profiles, 얻어진 포인트의 X/Y Matrix로 Location data가 정해집니다.
.얻어진 location points를 활용하는 Image Drift Correction Software. 이것은 특별히 SEM이나 TEM의 생물학적 연구에 유용합니다(선택적으로 가능).
.BMP 이미지 파일로 직접 저장할 수 있는 정성정량 LineScan Acquisition과 Display Software (선택적으로 가능).
.Full Quant-Ratemeter, Digital Concentration Display Tool.
.SCA and Digital Ratemeter Control Panel.
.Spectrum Quantitation과 AutoRun Summary Results Data를 위한 Graphic’s Tool.
_숙달된 사용자를 위한 full quantitative calculation에서의 부수적으로 알고있는 성분의 concentrations(EDX & WDX data).
_library spectrum을 사용하거나, 사용하지 않고 하는 겹쳐져 나타나는 피크를 깍아 내는 방법.
_얻어진 Spectrum data, 정량분석과 이미지 데이터를 종이 한 장에 프린트.
_선택적으로 EDS acquire modes, ROI-Integral Intensities, Net Intensities, 혹은 WT% Concentrations를 갖는 16~512 point의 향상된 LineScan capabilities, resolutions.
_향상된 정량 획득 방법.
-각 분석에서 다른 성분을 가지고 있는 spectral data collection을 위한 “simple Auto”가 새롭게 더해졌습니다.
_폴더에서 간단하게 파일의 이름을 클릭함으로써 모든 스펙트럼의 확인하는 스펙트럼 미리 보기인 Spc Preview.
3 Multipoint Analysis Software Installation
Multipoint Analysis software는 두개의 디스크로 구성됩니다. 각 Phoenix package는 설치와 “System Disks”의 일반설정에 요구되는 master disk를 갖는데 System Disks 한 셋트는 세개의 디스크로 구성됩니다. 사용자는 설치하는 동안 정확한 디스크를 넣어 주어야 한며 일반적으로 모든 EDAX 32 bit software는 CD Rom에 담겨있습니다 .
Software의 설치를 시작하기 전에, software를 위한 Drive “C”는 6Megabytes보다 큰지 확인해야 합니다. 그렇지 않으면 설치가 중단될 것입니다.
Software의 설치를 위해서 Multipoint Analysis master disk를 CD Rom drive에 넣고 주 스크린이 시작되면, “Run”을 선택하십시오. 실행할 프로그램의 이름을 묻는 대화상자가 나타날 것입니다. Version#\SEM Multipoint Analysis\Disk 1\SETUP.EXE라고 타이핑하고 “OK” button을 클릭하십시오. 이제 software installation process가 시작되고 설치를 계속하려면 Next button을 클릭하십시오. Phoenix system은 이제 하드디스크에다가 system disk들의 복사본을 갖게 됩니다. 이것은 C:\EDAX32\SYS\SYSDISK2 & SYSDISK3에 저장됩니다.
Multipoint Analysis는 system에 설치된 system disks(via the file SYSDISK.VER)의 버전을 확인합니다. 하드디스크에 맞는 버전이 있으면 이 backup directory에 system disks가 설치될 것이고, 그렇지 않으면 Multipoint Analysis installation이 끝난 다음에 CD Rom에서 system disks를 설치해야 합니다.
Multipoint Analysis 설치를 위해서 다음의 디렉토리의 structure를 갖습니다.
C:\EDAX32\EDS SEM Quant ZAF software
C:\EDAX32\AUTO Multipoint Analysis, executablesoftware
C:\EDAX32\SYS Phoenix system support libraries,e.g. DLL's
C:\EDAX32\IMG Phoenix Imaging / Map directory
D:\EDAX32\AUTO\USR Default directory for storing ofMultipoint Analysis data.
D:\EDAX32\MANUALS EDAX User manual area
Multipoint Analysis software package가 EDAX program group에 들어갑니다.
기본적으로 Multipoint Analysis data는“D:\EDAX32\AUTO3\USR”디렉토리에 저장됩니다. 만약 여러 사용자가 있다면, 데이터가 저장될 DRIVE D:에 독립적인 작업공간을 각각의 사용자가 만들어서 설정해 줄 수 있습니다. 예를 들면, Gabriella란 이름의 사용자가 자신의 작업공간에 저장하고 싶으면, directory ”D:\EDAX32\AUTO\Gabriella”를 만들어야 하며 그런 다음에는 File과 Save as를 클릭해서 그녀의 데이터가 저장될 directory를 선택해야 합니다.
만약 구매한 Multipoint Analysis software options(LineScnn, Drift Correction, PhiZaf of PhiRhoZ Quantification, Spectrum Mapping)이 있다면 구매한 option disks를 넣고, 이전 구문에서 표현된 설치과정을 거치십시오. Option disk 설치에는 system disk가 필요하지 않습니다.
Multipoint Analysis Option Disks
9424.080.52500 Advanced LineScan Option
9424.080.52600 Drift Correction Option
9424.080.57000 Multipoint PhiZaf Quantification Option
9424.080.52800 Multipoint PhiRhoZ Quantification Option
9424.080.62900 Spectral Mapping&Data Recovery Option
Phoenix user’s manual disks에는 Phoenix systems에서 활용할 수 있는 모든 user’s manuals의 copy가 들어있습니다. Multipoint Analysis의 Phoenix user’s manual은 D:\EDAX32\MANUALS director에 설치될 수 있고, drive D:를 못 찾으면 C:\EDAX32\MANUALS에 설치될 것입니다. 모든 EDAX user manuals는 이제 Adobe Acrobat*.PDF 형식으로 저장됩니다.
Window는 여러작업을 한꺼번에 할 수 있는 시스템이지만, Phoenix(기본적으로)는 단 1-EDAX(EDAX Data Acquisition Module)란 사실 때문에 Multipoint Analysis가 실행중일 때는, SEM Quant ZAF나 EDX Imaging/Mapping 을 사용할 수가 없습니다.
IMPORT NOTE:
단지 하나의 EDAX software package가 하나의 EDAM3를 조정할 수 있기 때문에, 예로 SEM QUANT ZAF software가 이미 실행된 때에 Multipoint Analysis를 시작하려고 하면 다음과 같은 대화상자가 나타납니다:
Multipoint Analysis software의 이름에 붙은 “Remote”가 나타날 것이고, 어떤 데이터도 얻을 수가 없습니다. 그렇지만 모든 표시와 기능의 진행은 가능합니다. Multipoint Analysis는 Window 95/98이나 Window NT에서 모두 EDAX EDAM3를 써서 실행할 수 있고, 혹은 EDAX Software Key. Part#(2735.171.30268)을 갖추고 있는 일만 PC에서 가능하다. 이 key가 갖춰지지 않은 일반 PC에서 multipoint Analysis를 실행하려고 하면 error message “ Missing Security Key”가 나타날 것입니다.
4 STEP by STEP PROCEDURES
전체 매뉴얼을 읽지 않고 빨리 사용하려고 한다면, Multipoint Analysis의 모든 기본 기능을 수행하는데 필요한 기본 단계들이 다음에 표시할 것입니다. 간단하게 Phoenix의 전원을 켜고, 윈도우 처리 system에 system을 불러옵니다. 거기에는 활용할 수 있는 다른 프로그램 그룹이 몇 개 있을 것인데 EDAX program group에서 보이는 multipoint Analysis icon을 클릭하십시오.
To Collect, Identify and Quantify a Spectrum :
(이 과정을 실행하기 전에 반드시 EDAX service engineer에 의해 Calibration을 해야 합니다.) software를 불러오고, 현미경 빔의 스위치가 켜지면, 바탕의 왼쪽 코너에 multipoint Analysis software의 Cps가 3000가량으로 나타나도록 조절하십시오. 이제 Spectrum acquisition을 시작하기위해서 바탕에 있는 Start button을 클릭합니다. 30-40초 후에 Stop button을 클릭하십시오. Detector가 아직 준비가 덜돼서 전자 현미경에서 수집된 live data가 Phoenix system에서 아직 나타나지 않았다면, 디스크에서 스펙트럼을 불러올 수 있다. 주 메뉴에서 File을 클릭하고, open을 하고, AUTO32S.SPC 혹은 AUTO32M.SPC를 열고자 하는 파일로 선택하고, All Disk button을 클릭하십시오.
이제 메뉴에서 ID를 클릭하면 Peak Identification level이 실행된다. Clear All을 클릭하고 나면 Auto button을 Sutomatic Peak ID를 실행하게 한다. 거기에 확인해야 할 성분들이 더 있다면, Z+와 Z- buttons을 사용해서 주기적인 차트를 scroll up/down시키고, 스펙트럼 피크의 중앙에다가 성분 확인 선을 넣어주기 위해서 Add를 클릭한다. Peak ID floating toolbar 내의 “Q”라고 라벨이 붙은 버튼이 있는데, 이 버튼은 floating toolbar를 불러낸다. “Q” button을 클릭하고, Conc button을 클릭한다. 이것은 background를 맞추고, peak를 나누고, 모든 정해진 혼합물을 얻어내고, 도구막대의 형식으로 결과들을 표시합니다.
Print-Full Quant Results menu item을 클릭하면, 세기와 혼합성분의 결과들은 프린터로 출력할 수 있고, 그 결과값의 표시들은 자동으로 종료될 것입니다. Spectrum과 정량결과를 함께 프린트하고 싶을 때 하나의 방법은 “Conc”를 클릭하고 나서 Print Spectrum and Quant를 클릭하는 것입니다.
Spectrum과 image를 프린터로 출력하려면, 주메뉴에서 File를 클릭하고, Print Output…를 클릭한다. Spectrum과 image checkbox’s가 check되어 있는 지 확인하고, hardcopy 출력을 시작하기 위해서 Print button을 클릭하면, 출력페이지 대화상자가 나타날 것입니다.
To Acquire LineScan Data from Microscope
[ if Advanced Line Scan option is installed ]
- Multipoint Analysis가 아직 실행되지 않았으면, Multipoint Analysis icon를 클릭하고, spectrum을 만들고 모든 성분을 확인하십시오. Image-Collect에서 image를 선택하십시오. Line Locations mode(Loca-L)을 설정합니다. 이미지에서 클릭하고 끌면 녹색 선이 표시되는걸 확인할 수 있습니다. 이것이 전자빔이 주사 될 영역으로 설정된 것입니다.
- Image menu 아래에서, LScan Cond…를 클릭하고, acquire Mode가 LineScan이 되게 하십시오. Read Position을 클릭하면, matrix size가 128로 설정되고, 실행시간은 256msec가 되게 하십시오. Start LScan을 클릭하면 이미지에 그려진 파란선을 볼 수 있고 라인을 따라서 이동하는 붉은 조준용 십자선을 볼 수 있을 것입니다. Linescan이 끝나면 Display button을 클릭할 수 있고, 이제 얻어진 데이터가 표시될 것입니다. ImgOvly menu item을 통해서 이미지에 이 데이터들을 겹쳐 보이게 할 수 있습니다. 결과가 얻어지면 File…Save as를 통해서 *.LSC filetype로 디스크에 데이터를 저장하십시오.
To Read a stored LineScan from a file .
[ if Advanced Line Scan option is installed ]
Multipoint Analysis가 아직 실행되지 않았다면 Multipoint Analysis icon을 더블 클릭하십시오. 메뉴에서 File을 선택해서 불러들입니다. File type을 *.BMP를 선택하고 EXAMPLE.BMP file을 선택하면 Linescan이 얻어진 이미지를 읽어 들여올 것입니다.
File을 클릭하고, Open한뒤 File type을 *.LSC를 선택하고, LScan 조건 대화상자가 표시될 것입니다. Display button을 클릭하면, 이동과 사이즈 변환이 등의 독립적 조작이 가능한 work area에 LineScan data가 표시될 것입니다. EDAX image area에다가 LScan data을 첨부하려면 ImgOvly-Horizontal을 클릭하십시오.
Multiple mode linescna display를 프린터로 출력하려면 Print를 클릭합니다.
LineScan display 기능의 더 자세한 세부사항을 보려면 매뉴얼의 LineScna display 부분을 참조 하십시오.
How To Perform a Multipoint Automated BeamAnalysis
1.Multipoint Analysis icon을 더블클릭하고 현미경의 샘플을 준비한 뒤 Image-Collect menu item을 통해서 image를 모으거나 혹은, Image Acquisition button을 클릭하십시오. Scanning mode를 spot mode로 (전체 raster scan은 Scan-F) 전환하기 위해 Scan-S로 설정하십시오. 이전에 있던 EDX spectrum을 clear 시키고 붉은 조준십자선의 위치를 확인한 후 spectrum 분석을 시작하기 위해서 Start를 클릭하십시오. Peak ID 기능을 사용해서 spectrum의 peak를 확인합니다. 그것은 자동 분석을 하려고 할 때 모든 성분을 분석하기 위해서 매우 중요하다.
2.이미지를 얻은 후라면, Location 메뉴에서 spot, line or matrix type중 하나를 선택합니다. 분석하고자 하는 위치의 spot, line or matrix를 선택하기 위해서 EDAX image 상에서 마우스로 선택한 다음, 각각의 위치를 저장하기 위해서 toolbar의 ‘S’button을 클릭하십시오(이것은 각각의 위치를 저장하는 역할을 합니다).
3.Location menu에서 Table을 클릭하십시오. 선택된 모든 위치 정보가 X,Y의 조합된 데이터로 location table에 표시될 것입니다. 여기에서 line(No.X) or matrix(No.X and No.Y)의 number of point을 수정할 수 있습니다.
4.새로운 값으로 위치데이터를 바꾸고 싶으면 원하는 셀을 클릭하고, 새로운 값을 타이핑한 뒤 enter를 누르거나 혹은 C button(change)를 클릭하십시오.
5.Setup, Preset & Mem…를 통해서 live time preset를 선택하고, 분석을 위해 20초로 설정합니다.
6.자동 출력 설정하기: Live X-ray, Save spectra, Concentration Calc를 선택하십시오. 원하는 4문자를 스펙트럼의 파일이름을 기초로 해서 입력합니다, 예를 들면 “SPEC100”입니다. OK를 클릭하십시오.
7.Auto와 View Parameters를 클릭하십시오. 자동화된 영역에서 설정되는 예상 시간인 runtime을 확인하십시오. 그렇지 않으면 N/A or 0.0 for the Est.Time이라고 표시되고, 자동실행은 수행되지 않을 것입니다.
8.Auto menu item을 클릭하고 Start Auto를 클릭하면 자동작업이 시작된다(이것이 auto run을 실행하기 위한 전부다). Auto run이 끝나는 시점에는 알람이 울리는데 그것은 분석이 끝났다는 것을 알려주는 것입니다.
9.분석이 끝났을 때 Auto and Summary를 클릭함으로써 생긴 요약된 데이터를 볼 수가 있습니다. 새로 얻어진 파일이름을 선택하면[예로 SPC100.SMY] 결과표가 읽혀져서 표시됩니다. Copy 기능을 이용해서 Clipboard에서 데이터를 가져와서 Microsoft Excel에 그것을 붙일 수 있다.
10.Multipoint Analysis에서 정량의 결과들을 시각적으로 보고자 한다면 “Graph”을 결과 요약 대화상자에서 클릭하십시오.
How to perform an Automated Analysis with
STAGE and BEAM Locations.
주의: Drift Correction이 활성화된 상태에서는 automated STAGE movements를 실행할 수 없고 system은 경고 메시지를 만들어 drift correction이 불가능해 지고 나서 auto run이 시작됩니다. Stage & Beam automation을 실행하기 위한 기본 개념은 모든 빔의 위치들이 beam location files *.loc에 저장된다는 것입니다.
Stage location에서 역학적으로 table data가 저장됩니다. Stage location table이 정해지기 전에 샘플의 어느 영역을 분석할 것인가 하는 기본적인 생각을 해둬야 하는데 이것은 3개의 가능한 stage locations methods가 있기 때문입니다.
SPOT-한 단위 위치
LINE-시작하고 끝나는 영역으로 정해지는 등거리에 있는 multipoint stage movement입니다. 기본적으로 영역의 개수는 5개이지만 사용자가 조정할 수 있습니다.
MATRIX-등거리에 있는 multipoint stage movement로 시작하고 끝나는 X&Y locations으로 기본적으로 2x2 size를 갖으면서 사용자에 의해 바뀔 수 있습니다.
다음의 것들은 2개의 다른 단계적 영역에서 얻어진 데이터에 필요한 단계를 예로 든 것입니다.
Spectrum의 성분과 EDS 사전설정, Auto output의 collection혹은 진행을 위한 options를 정해줘야 합니다.
1)”Stage” menu item을 클릭하고, stage를 분석하고자 하는 첫번째 위치로 옮깁니다.
2)이제 새로운 electron 이미지를 보기위해서 Image-Collect menu item을 클릭합니다.
3)이 부분적인 이미지의 영역에서 수집하기 원하는 beam locations를 정해줘야 합니다. Spot, line or matrix의 Beam data를 얻기 위한 세가지 방법이 있고 이것이 완료되면 Loca-Table-Save sequence를 통해서 이러한 영역들을 beam location file *.LOC롤 저장합니다.
이 단계의 위치를 stage table에 저장하기 위해서는 Stage Control Window의 바탕에 있는 “S1” button을 클릭합니다.여기서 “TABLE”을 클릭하고, beam location files name을 입력하면, 또다시 beam filename 옆의 라벨도 더해줄 수 있습니다.
이어지기 frames들을 저장하려면 단계 1에서부터 반복하십시오.
2) 끝나면, Auto and Start의 주메뉴 아이템을 클릭함으로써 auto run을 시작할 수 있다. 진행하는 동안, 단계가 이동하고, 이미지가 얻어지고, 스펙트럼이 얻어지고 진행되는 것을 볼 것입니다.
Multipoint Analysis Menu Tree
File Setup ID Quant Conc Image
Open... Preset & Mem... Collect
Save As... Detector... Continuous
Spectrum Preview Edam & Calib... Display Current
Get Current Setting Display & Color... SuperImpose
Print Output... Visual... 1024 Image - Collect
Print Setup... Sca & RateM... 1024-Load / Save
To Clipboard ----Image Other Options... Image Cond…
Spect Graph Match Control-----Threshold Weight FactorLScan Cond…
Spect Number Save MCA Drift Correct…
SEC Table Kv & Distance...
Oxide Ratio Edit Table....
Pure Element Int. Edit Mabs Coef...
Lscan Inte Auto Output
LScan Conc Show Conc Bar
Get ROI Data
Loca-S Auto Scan-F Stage Help
Table Start AutoSpot Contents
Spot End Auto Reduced Raster Introduction
Line Summary...Full Frame Multipoint Display
Matrix View Parameters Set Reduced Size Step by Step
Line with P1,P2 Menus
Fixed Horizontal Line About Multipoint
Random
Show All Loca
Show Loca & No
Photo PlayBack
Photo Video
Optional LineScan Menu Tree
Elem Scale ImgOvly Print OK Help
Select ElemAutoScale Horizontal
Sequence Original Data Vertical
Overlay Smoothing Height Factor
Multiple Base LineMatch Line
Gain Factor Stretch Line
Adjust B&G Current Image
Min Total Inte Image Name
View Data Text
Set Beam X/Y
5 MENU OPERATIONS
File
Open... Several types of files can be read from disk:
.SPC – Phoenix spectrum file.
.BMP - Image bitmap file.
.LSC - linescan file.
.MCH - match file.
.EDS - 9900 spectrum file.
.MCA - Multipoint Configuration file.
Save as... Several types of files you can save to disk are:
.SPC - Phoenix spectrum file.
.BMP - Image bitmap file.
.LSC - Linescan file.
.CSV - Phoenix spectrum file.
MCA - Multipoint Configuration file.
이미지를 .BMP 파일로 저장을 하면, 프로그램은 선택한 파일이름으로 표시된 이미지 사진을 복사할 것입니다. Spectrum files는 2가지 다른 형식으로 저장될 수 있습니다.(*.SPC an EDAX proprietary binary format)과(*.CSV comma separated values-a common Ascii file format that can be easily read into Excel).
MCA files… Phoenix에서는 system 상수들을 유지하기 위해서 몇가지 조합파일을 Multipoint Analysis하는데 사용합니다. Multipoint Analysis에서 가장 중요한 파일 중에 하나는 Auto32S.MCA(SEM 분석용), Auto32M.MCA(TEM 분석용)입니다. 이 파일에는 사용자가 선택한 색과 mode selections, 분석의 preferences들이 모두 들어있습니다. 하지만, quantitative method는 이 파일에 저장되지 않습니다. *.MCA로 사용자가 정한 이름을 저장할 수 있고, Multipoint Analysis를 사용할 때 다시 실행할 수 있어서, 이전의 사용자가 구성해 둔 시스템과 달리 Multipoint Analysis를 사용하고자 하는 대로 정확하게 software가 구성될 것입니다.
Note: *.MCA file이 디스크에 저장될 때, quantitative method(Comp or Pure)는 파일에 저장되지 않습니다. 이는 목적에 맞게 실행되게끔 *. MCA file이 다시 읽혀지고, 이(Comp or Pure Methods)를 사용하고 싶을 때에는, 성분과 새 분석을 위한 연속된 분석에 정확히 맞도록 시스템을 설정해야 합니다.
SPC Preview…파일이름의 클릭으로 이미 저장된 스펙트럼을 빠르게 확인하기 위해서 이 도구상자가 쓰입니다. Quant or Printing을 위해서 표시되어 있는 spectrum위에서 이 대화상자를 열고, 필요한 기능을 수행할 수가 있습니다. “Path”를 클릭하면 파일이름이 나열된 현재의 디렉토리를 바꿀 수 있습니다.
Get Current Setting…만약, 스펙트럼을 읽기 중에 저장된 것을 선택했다면 존재하는 스펙트럼의 설정을 이전의 system에서 읽어온 것으로 대체할 수 있습니다.
Print Output… Print Spectrum/Image 선택 대화상자가 표시됩니다. 이것은 10-100%의 프린트 농도와 size를 선택하고, 프린트 될 스펙트럼에다가 clipboard text를 붙여넣을 수도 있습니다. Clipboard test는 정량결과나 스펙트럼 출력물의 바탕에 보조 텍스트를 더해주는 경우에 쓰일 수 있습니다.
Printer Setup…기본 윈도우의 프린터 설정 dialog box.
To Clipboard
- Image에 표시된 주석(kV, Tilt, Mag, Microns, Label)을 변환시킵니다.
- Spectrum Graph은 윈도우의 clipboard에 표시되어 있는 스펙트럼을 전환시킵니다. 스펙트럼을 “*.BMP” file로 저장하고 싶다면 Clipboard를 통해서 스펙트럼의 이름을 bitmap으로 저장해서 쓸 것인지 하는 질문에 Yes로 답해서 그렇게 실행할 수가 있습니다.
- Spectrum Numbers는 channel #들을 1000, 2000, 3000 혹은 4000으로 바꾸고 그것들의 intensity를 클립보드에서 바꿀 수 있습니다. 다음의 예는 Excel로 보내진 클립보드의 내용입니다.
- SEC Table Standardless Element Coefficients
이 옵션을 클릭하면 SEC table의 데이터가 클립보드로 전환됩니다. default로 모든 SEC 값들이 1.0으로 설정되어 있는데 자신이 직접 데이터를 설정할 때 이 기능은 Micro Excel에서 SEC data를 보고, 프린트하는데 유용하게 쓰일 것 입니다.
- Oxide Ratio는 oxide ratio table로 전환시켜줍니다.
- Pure Element Intensities는 SEC의 형식과 비슷합니다. EDAX는 이 값들을 제공하지 않으므로 모든 데이터 값들은 1로 정해져 있습니다. 필요할 경우는 자신이 사용할 설정에 맞게 데이터를 맞춰줘야 합니다.(EDIT Table를 참고).
- linescan Intensities는 LineScan을 읽어오거나 새로 얻어진 후에 intensity 도표의 데이터들이 clipboard에 들어갈 수 있게 해 줍니다. 게다가 이 데이터들이 clipboard에 들어가면서 또한 backup data file”C:\EDAX32\AUTO\DXLSCAN.CSV”가 얻어진 linescan의 끝부분에 저장됩니다. 이 파일들은 Microsoft EXCEL로 읽어올 수 있습니다.
-LineScan Concentrations는 LineScan을 읽어 오거나 또는 새로 얻어서 display 됐을 때 concentration profile 데이터가 clipboard에 들어갈 수 있게 해 줍니다.
Setup 모든 일반적인 EDX의 설정은 여기에서 이루어집니다.
더 자세한 사항들은 6장에서 확인하십시오.
Preset & Memory…분석시간, spectral memory mode, spectral memory A or B’s sample labels를 정하는데 쓰입니다.
Detector…정량계산에 사용될 detector와 그것의 윈도우 두께를 선택합니다.전자현미경에 설치되어 있는 타입과 정확한 detector를 선택하는 것이 매우 중요합니다. 만약 그렇지 않으면 정량 결과들은 제대로 나타나지 않을 것입니다.
Edam & Calib…모든 EDAX의 configuration, amplifier time constant, Ev/Channel, Detector 입력 번호 등이 여기에서 설정됩니다. 또한 EDX의 자동 및 수동 calibration을 수행할 수 있고 centroid/ resolution 측정 tool인 “Peaks”를 포함하고 있습니다.
Display & Color…스펙트럼의 특성 색과 grid 및 스펙트럼이 얻어진 energy range 등이 여기서 정해집니다.
Visual…현재 스펙트럼에서 보기위한 기능들이 수행되는 도구들이 있습니다. 가능한 기능들은 피크 generation, background subtration, intensity normalization 및 기타의 기능들이 있습니다.
SCA & Ratemeter…x-ray dot mapping을 위한 single channel 분석기 데이터를 설정하고 처리하는데 쓰이고, digital ratemeter에서 analog line profile scan을 수행합니다.
Other Options…저장된 CPS, Dead Time, Live Time, EDAX access usage 혹은 System Data등을 status bar의 가장 오른쪽 영역에 표시할 수 있게 한다.(시간 옆에)
Match Control…sigma and threshold을 위한 EDX Library Matching의 예민한 조정을 설정 하는데 쓰입니다.
KV and Distance…kV, tilt angle, take-off angle and beam factor등과 같은 현미경의 상태들을 정해줍니다. 또한 이미지에서의 거리측정도 수행할 수 있는데 standard를 통해 어떤 이미지에서의 어떤 거리든지 계산할 수 있습니다.
Edit Table…Z-List, Oxide Ratios, SEC Pure and Simultaneous peak stripping setup등과 같은 ZAF 계산에서 사용되는 상수들을 여기에서 수정할 수 있습니다.
Edit Mabs Coef…정량의 계산에 사용될 수 있는 mass absorption coefficient의 사용자 설정을 수정하는데 쓰입니다.
Auto Output…이 대화상자는 자동배치의 4 영역을 포함합니다. (1)processing에 사용되는 batch filename (2)스펙트럼 처리 옵션들, (3)스펙트럼의 입력 source, (4)하드웨어의 specific control modes.
Show Conc Bar…실시간 정량 막대그래프 창을 표시한다. 시스템은 스펙트럼을 얻으면서 각 스펙트럼에 업데이트 되는 전체 background subtraction, peak deconvolution and matrix correction을 수행합니다.
Get Roi Data…ROI energy 창, 그것들의 width, CPS, Peak Integrals 등의 보기 및 수정과 프린트하는 도구입니다. 스펙트럼 수집을 위한 Preset Count mode를 구성하는데 이 기능이 반드시 쓰입니다.
ID Peak Identification floating toolbar를 보여줍니다.
Quant Quantification floating toolbar를 보여줍니다.
Conc concentration calculation을 수행하고 도표 형식으로 결과를 표시합니다. 확인한 피크가 없으면, 자동 peak ID가 정량하기 전에 실행됩니다.
Image
Collect-새로운 이미지를 얻는데 쓰입니다.
(Note: Collect-Image는 이전의 beam location 목록을 모두 지우지는 않을 것이다. 이것들은 Beam Location Table에 있는 Delete-All button을 통해서 지워집니다.)
Continuous-샘플의 이미지를 빠르게 보는데 사용됩니다. 현재의 사용중인 matrix size의 이미지가 collect 및 display 됩니다. 이것은 현미경 이미지 stage의 location, contrast, brightness, focus를 맞추는데 쓰입니다. 이 모드에서 수집된 영역의 번호는 status bar cell의 가장 오른쪽에 예를 들면 Img1,Img2등으로 표시됩니다. 연속 mode를 멈추려면 e-button혹은 Image and Collect를 클릭하면 됩니다.
Display Current-마지막에 얻어진 이미지를 보기위한 EDAX image area를 새롭게 합니다. 사용하는 Multipoint Analysis software의 몇몇 부분에서 표시된 이미지가 gray levels(Pseudo Colors)보다 다른 것을 가진다면, Image-Display Current 기능을 선택함으로써 이미지는 gray levels로만 새로 저장될 것입니다.
SuperImpose-스펙트럼 영역의 background에다가 이미지 데이터를 놓거나 없애는데 쓰입니다.
1024Image-Collect-1024 이미지를 얻는다. Load-1024 이미지를 디스크에서 읽어온다. Save- *.bmp 파일이름으로 1024 이미지를 저장하게 한다.
Image Conditions-ADC 1~4같은 이미지 acqusition parameter 상수들을 여기서 설정할 수 있고, 평균적으로 읽어들이는(1-2048) video number가 정해집니다. 16ADC 평균 읽기를 사용하는 256x200 image는 얻는데 2초가 소요되고, 64번 읽기는 5초가 걸리지만, 훨씬 더 좋은 이미지를 얻게 됩니다. 이 개선된 이미지는 Drift correction software를 사용할 때 중요합니다.
LScan Conditions-X-ray line 형태의 collection와 displays는 이 단계에서 수행됩니다. Linescan은 16 ~ 512까지 다양한 x-ray spot dwell time을 갖게 됩니다.
Drift Correction - Overview
Drift correction이 수행되는 기본 과정은 각 스펙트럼에서 이미지가 수집되고, 사용자가 특별히 보고자 하는 특징적인 이미지를 찾은 다음 이 이미지에서의 중심을 측정하고 저장합니다. 이러한 이유에서 이미지의 noise가 충분이 낮아야 하고 적어도 하나의 구별할 수 있는 특징이 있어야 합니다.
Drift correction window에서, Drift Correction이 선택되었다면(checkbox enabled), 이미지 영역에서 정해둔 특징 주위에 노란색 박스를 설정해야 합니다. 그 노란 상자는 이미지영역의 주변을 touch 해서는 안됩니다.
그런 후 Select Area and Setup button을 클릭합니다. 이미지에서 녹색 조준용 십자선으로 표시된 tracking point를 따라서 Select Area and Setup button의 아래의 문서상자에 particle location coordinate가 표시될 것입니다. 이제 자동 drift correction이 실행되기 위한 준비가 되었습니다.
Drift correction의 tracking a feature에 문제가 있으면, 여러 error massages가 drift correction이 활성화되어 있을 때의 자동실행을 하는 동안 생성될 것입니다. “spectral base filename.DFT”의 파일이름으로 각각의 drift corrected run하는 동안 그곳에 중요한 문서파일이 생성됩니다. 이 데이터 파일은 자동 실행모드에서 image drift characteristics의 log on의 실행을 유지하기 때문에 매우 유용합니다. 이 파일은 Microsoft Notepad를 써서 볼 수 있습니다. 다음의 도표에는 자동실행에서 얻은 대각선 위에 10개의 points가 얻어진 예제 데이터가 있습니다. 현미경 빔의 Y-shift는 drift의 높은 비율로 맞춰집니다.
위의 표에서, column ‘No’는 analysis sequence number를 표시합니다. ‘Dx’변수는 X축에서 tracking feature이 얼마나 벌어졌는지를 보여줍니다. ‘Dy’변수는 Y축에서 tracking feature가 얼마나 벗어났는지를 보여줍니다. ‘Xloc’는 X-Axis에서 분석이 이루어지고, 제한은 0~4095입니다. ‘YLoc’는 Y-Axis에서 분석이 이루어지고, 제한은 0~3199까지 입니다. ‘NoP’는 특징 찾기 기능이 완료됐는지를 가리키는 것입니다. 어느 feature search에 Zero가 표시되어 있다면 이는 그 특징을 찾을 수 없다는 것을 의미합니다.
Feature search routine이 어떤 부분도 찾지 않았다면 analysis locations 8&9가 보일 것입니다. 이는 추가적인 corrections가 ‘Dx’혹은’Dy’변수로 적용되어진 것입니다.
자동 실행모드에서 drift corrections에 오류가 발견되면 메시지가 Multipoint Analysis program의 두번째 수직으로 표시된 라인(spectrum label의 옆)의 끝에 위치한 X/Y Drift data area에 표시될 것입니다. 두개의 가능한 오류 메시지는:
a)BAD Drift:특징을 찾을 수 없음
b)BAD Loca: 분석 영역이 EDAX scan generators movement 영역의 바깥에 존재함. 자동 실행에서 erros가 발생하지 않았다면 이 영역은 단지 tracking 조합을 가질 것입니다. 예[122X/118Y]
Drift correction이 설정되면, “Select Area and Setup” button을 클릭함으로써, 찾은 부분의 영역 내에 녹색 조준십자선이 나타나게 될 것입니다. 자동실행을 하는 동안, drift correction을 찾는 영역을 정하는 녹색 박스가 이미지위에 표시되고 또 부분적인 중심 coordinate의 tracking을 위한 녹색 조준용 십자선이 표시됩니다.
자동실행을 하는 동안, “Select Area and Setup” button바로 아래에 3개의 상수가 표시됩니다. 이것들은 1)the tracked features X Coordinate, 2)the tracked features Y Coordinate, 마지막 track에서 발견된 Q value입니다. Q value는 track의 quality를 표시하는데 이 숫자가 0에 가까울수록 좋은 것입니다. 일반적으로 track numbers는 0-50에서 시작해서 최고 500까지 갑니다. Q number가 999에 근접한다면 이것은 tacking이 실패했다는 것을 의미합니다.
실패의 이유로는 (1)rate가 너무 높아서 특징이 벗어났거나 (2)이미지의 brightness가 불안정해서 입니다. 또한 , 아래의 이 tracking data는 예제의 값을 갖는 작은 회색 박스에 있습니다.VD=000 VB(L/S)=072/053. 이것이 의미하는 것은:
VD = Video Drift
VB(L) = Video base Image Brightness for Large Image
VB(S) = Video Base Image Brightness for Small Image
Setting up Drift Correction - Step by Step
1) image의 Collect menu item이나 the Image acquisition button을 클릭해서 Image를 얻습니다.
2) “S” button을 사용해서 분석할 점들을 정해줍니다.(분석위치를 저장한다)
3) main Menu에서 Image안에 있는 Drift Correction을 선택합니다.
4) enable 체크박스를 클릭함으로써, Drift Correction 방법을 활성화합니다. 표시된 이미지를 클릭하면 큰 노란 상자 안에 작은 녹색 box를 가지고 있는 것을 볼 수 있을 것입니다. 찾고싶은 특징이 녹색박스의 안에 있도록 두십시오. 특징을 찾으면 Select Area and Setup button을 클릭 하십시오. Pause button의 왼쪽에 표시된 녹색 확인 상자 내부의 data를 볼 수 있을 것입니다.
만약 correction이 수행됐는지 보고자 한다면 automated analysis 수행시에 그 위에 image drift 창을 display 시킬 수 있습니다.
This Completes the Drift Correction Setup.
Drift Correction Setup이 완료되었으면 이제 drift correction을 사용해서 자동화 분석을 시작하십시오.
Loca - S (Location)
Loca-S는 위치 정의 모드가 spot mode로 정해졌음을 의미합니다. “S” button을 클릭하면 single location이 저장될 것입니다. Location mode가 line(Loca-L)이라면, 포인트들의 line이 “S” button을 클릭함으로써 저장될 것이고 Location mode가 Matrix(Loca-M)이라면, 포인트들의 X/Y matrix가 “S” button을 클릭함으로써 저장될 것이다.
Table-beam location table은 정해진 column 접근법을 사용합니다. 어떤 데이터를 수정하거나, 열을 지울 수는 있지만, 하나의 column을 지울 수는 없습니다. 이 표는 특별한 계산적인 작업을 통해서 Microsoft Excel로 복사해 올 수 있습니다. 표 목록 100개 까지의 이미지 영역을 선택하고 저장할 수 있습니다. 따라서 각 점, 선, 면이 하나의 표 목록으로 구성됩니다. Line이나 matrix 설정시 최대 1000 point 까지 지정이 가능합니다. 지금 버전은 1000개의 포인트를 모두 설정되어 있습니다. 이것은 각 실행에서 분석하는 점의 최대 숫자가 1000임을 의미합니다.
도구막대의 ‘S’ button을 클릭함으로써 위치를 한번 저장했다면, Loca & Table을 클릭함으로써 location table을 볼 수 있습니다. Column 2 밑의 문자 P는 spot location을 나타내고, L은 line, M음 matrix를 나타냅니다. Line과 Matrix를 위한 기본적인 분석 위치의 숫자는 10x1과 2x2로 되어 있고, 이 것은 필요에 따라서 바꿀 수 있습니다. 값을 수정하려면 먼저 적당한 cell을 클릭하고, 문서 상자를 수정합니다. 그 셀의 값을 업데이트 하려면 를 클릭하거나 엔터를 누르십시오.
열의 첫번째 cell을 클릭하고, 를 통해서 그 열을 지울 수 있습니다. 를 통해서 이미지에서 분석되는 영역을 볼 수 있습니다. 먼저 열 #를 선택하고, Show를 클릭합니다. 또한, “A”의 왼쪽 셀을 클릭함으로써 전체 table을 선택할 수 있습니다.
을 클릭하면 전체 표가 지워질 것이기 때문에 조심해서 다뤄야 합니다. 디스크에 location table를 열거나 저장할 때 button이 쓰입니다. Beam Location data files은 file extension *.LOC를 사용합니다.
부분적, 혹은 전체의 표를 선택한 후에 Copy button을 클릭해서 위치 표 데이터를 클립보드로 이동해서 Microsoft Excel에 붙일 수 있습니다.
_Spot –저장하는 위치 모드를 single point로 정합니다. 정한 영역을 표에 저장하려면 도구막대의 영역에 있는 을 클릭하십시오.
_Line –저장되는 영역 모드를 line of points로 정합니다. 기본으로 이 라인은 10개의 등거리 포인트로 구성되는데 녹색 선이 acquisition line를 표시합니다. 선택한 영역을 표에 저장하려면, 도구막대 영역에서 를 클릭하십시오.
_Matrix –저장되는 영역 모드를 2x2 포인트의 배열로 정합니다. 이미지에서 Matrix area을 정하기 위해서 먼저 클릭하고, 끌고, 마우스의 왼쪽 버튼을 놓습니다. 녹색 박스가 acquisition area를 나타내고 정한 영역을 표에 저장하려면 도구막대에 있는 를 클릭하십시오.
_Line with P1, P2 –시작(P1)과 끝(P2) 점으로 정해지는 line acquisition의 특별한 모드입니다. 이 메뉴 아이템을 먼저 클릭하고 나서 이미지에서 P1 point를 클릭하고, 도구막대에 있는 를 클릭합니다. P2를 정하려면, 이미지 위에서 클릭하고, 를 누르십시오.
_Fixed Horz Line – micros 단위의 거리로 부분적으로 정해지는 line profiles를 모을 수 있게 하는 mode는 screen pixels number를 사용하지 않는다. 이미지 위에서 마우스의 왼쪽 버튼을 클릭함으로써 이를 선의 중앙 점으로 해서 필요한 micron length를 갖는 수평선을 그립니다. Setup – kV & Distance dialog에서 먼저 적당한 magnification을 설정해야 합니다. Sample magnification을 입력하고, line location을 정하고 를 눌러서 그것을 저장하십시오. Micron 표시는 Setup – kV & Distance dialog에서 활성화 될 것입니다.
Photo Video : The value input will also affect the playbackspeed. A speed factor of 1 represents a draw speed of 0.3 secondsper crosshair, 2000 = 1.2 seconds and 4095 = 2.8 seconds.
Random – beam location table에 있는 random position method로 선택할 수 있습니다. 만약 이와 같은 방법으로 beam locations을 전체로 지정한다면 샘플의 실제 평균치로 표시될 것입니다. 현재의 소프트웨어의 버전은 1~100까지의 무작위적 위치를 설정할 수 있습니다. Show Loca & Number menu item을 클릭함으로써, 이미지에서의 분석 위치를 확인할 수 있습니다. 자동 분석이 실행된 후에, 결과 데이터는 클립보드로 복사되고, Microsoft Excel로 붙여져서 실행될 수 있습니다.
Show All Locations: Setup – Display Color 대화상자에서 선택한 색을 사용해서 location table에서 정해진 모든 영역을 이미지 위에 표시합니다.
Show Location & Numbers:위와 같은 방법으로 단, analysis sequence numbers가 보일 것입니다. 라인 혹은 matrix mode의 분석 영역 사이의 공간이 매우 작다면, 단지 시작하고 끝나는 영역의 숫자들만이 표시될 것 입니다.
Photo playback: 현미경 기록 모니터로(단 현미경에서 이 기능을 지원하면) 위치 테이블의 목록을 검토할 수 있습니다. 또한 그것을 이미지 영역의 micrograph에 놓여 질 수 있는데 Photo Playback를 클릭하면, record monitor와 expose the film이 가능하다는 메시지가 보입니다. Playback process동안에 locations number가 sample의 label area에 표시되는데 불가능하다면, playback가 끝났을 때, 들리는 소리가 발생하면서, 필름을 갈아야 한다거나 photo monitor가 비활성화 되어 있음을 지시해 줍니다.
Photo Video : 입력된 값은 playback speed에 영향을 줍니다. 1의 speed factor는 조준용 십자선 당 0.3초의 그리기 속도를 나타내며 2000=1.2초, 4095=208초 입니다.
Auto
Start Auto–자동 분석을 시작합니다. Setup, Auto Output dialog box에서 설정한 것에 따라서 collection과 processing modes의 여러 조합이 존재합니다. 자동실행을 하는 동안에는 software의 충돌을 막기위해서 Multipoint Analysis software의 기능들이 거의 전부 실행할 수 없게 됩니다. 자동실행 도중에, Multipoint Analysis를 작아지게 하는 것은 가능하고, Word or Excel같은 윈도우 software는 사용할 수 있지만, 자동실행에서 잘못된 데이터가 생기는 것을 막기 위해서, 다른 EDAX 기능들은 auto가 실행되는 동안에는 쓸 수 없습니다. 자동실행을 하는 동안에 sample label area에는 sequence number of the autorun이 포함됩니다.예로 (1/100)은 100개의 얻어진 포인트 중에서 첫 포인트 임을 표시합니다.
End Auto–자동실행을 멈추게 합니다. 프로그램이 autorun mode에서 실행중일 때, 분석을 위해서 필요한 모든 단계가 완성될 때까지 현재의 위치에서 계속됩니다. 분석이 종료될 때 EDAX Scan Generator는 specimen beam damage를 줄이기 위해서 full scan mode가 설정될 것입니다.
Summary– autorun summary [*.smy] table을 읽어오고, 표시하는데 사용됩니다. 현재의 버전은 1000개의 분석위치에 해당하는 정량결과를 표시할 수 있습니다. 자동실행 결과들은 모든 성분에 대한 고정된 형태의 intensity 데이터와, Wt%, At%를 갖습니다.
View Parameters– AutoRun analytical sequence의 구성을 표시합니다. Print button은 이 스크린의 hardcopy를 만들 수 있게 합니다. 이 기능은 autorun 진행 도중에도 가능합니다. 자동화된 분석의 모든 조건들이 적절히 구성되었는지 확인하려면, View Parameters를 클릭하고, Estimated Run Time을 확인하십시오. N/A혹은 0.0가 표시된다면 autorun에 적당하게 설정되지 않은 것입니다.
Scan-F
EDAX Scan generator의 scan area가 EDAX Image area에 붉은 선으로 표시됩니다. 3개의 scan generator modes가 가능합니다.
Spot-scan generator가 spot scan으로 설정됩니다.
Reduced Raster-필요에 맞게 scan generator가 reduced raster scan으로 설정됩니다.
Full-scan generator가 full raster scan으로 설정됩니다.
Set Reduced Size:원하는 영역에 대한 scan을 정하기 위해서 Scan-R과 set Reduced Size를 선택하고 이미지를 클릭한뒤 한 방향으로 끌면 새로운 size로 설정됩니다. 자동실행에서 제한영역에서의 scan을 사용하고 싶으면, 자동분석을 실행하기 바로 전 마지막 단계에서 제한된 크기를 정해줍니다. 소프트웨어가 사용자의 선택에 따라서 이 제한된 raster scan type을 실행하게 혹은 그렇지 않게 해줍니다. “No”로 선택하면 Scan Generator가 spot mode 분석으로 돌아가게 됩니다. Scan mode를 바꿀 때마다, 현제의 scan generator mode를 나타내기 위해서 메뉴가 Scan-S, Scan-R or Scan-F로 표시됩니다.
Stage
이 메뉴 아이템은 적당한 EDAX stage control driver를 설치해야만 볼 수가 있을 것입니다. 이 stage option은 microscope stage positioning과 Spectrum Stage Maps(with the Spectrum Mapping Option)을 사용해서 multipoint analysis를 수행할 수 있게 합니다. 이 모드는 컴퓨터를 사용하는 position the stage에 쓰일 수 있습니다.
Help A Microsoft Windows style help tool for usingMultipoint Analysis .
Multipoint Analysis의 사용을 돕기 위한 Microsoft Windows style의 도구입니다.
6 GRAPHICAL DIALOG OVERVIEWS
Tool Bar
스펙트럼 분석을 시작합니다. 한번 개시되면, 버튼은 으로 바뀝니다. 스펙트럼을 제거합니다. 분석을 하는 동안에 Clear를 클릭하면 스펙트럼이 제거되고, 분석이 다시 시작됩니다. 스펙트럼에 사용자의 문서 영역이 있다면 그것도 역시 지워집니다.
Spectrum Control Buttons:
왼쪽에서부터 Home, Vertical Expansion, Vertical Compression, Horizontal Compression and Horizontal Expansion 버튼입니다.
Image acquisition button 이 버튼을 클릭해서 image collection을 시작합니다. Image Collection을 하는 동안에는 이 버튼이 노란 바탕에 검은색이 되고, 이미지의 좌우 양쪽에 노란선이 표시되는 것을 볼 수가 있습니다. 작업이 완료되어야만 이미지가 update됩니다.
e-button을 마우스 오른쪽 버튼으로 클릭하면, image acquisition은 continuous image collection mode로 설정됩니다. 얻어진 frame number가 status bar의 오른쪽 cell에 표시됩니다. Image collection을 멈추려면, e-button을 한번 다시 클릭하십시오.
Img –스펙트럼 영역의 맨 위에 image가 표시됩니다.
T–스펙트럼에 text를 적을 수 있게 합니다. 최고 10개의 분리된 text 단락까지 가능합니다.
C–스펙트럼에서 전체 사용자 text를 제거합니다.
Rmv–나타난 스펙트럼에서 표시된 스펙트럼을 제거합니다.
화면에 이미지가 보이면, T&C button은 M&S로 바뀐다. M은 이미지를 이동시키는데 사용하고, S는 자동분석에 사용될 수 있도록 Beam Location Table에 위치를 저장시킵니다. 각 위치를 선택한 후에 S button을 클릭하면 됩니다. 이미지를 이동하고자 한다면, 먼저 M을 클릭하고, 이미지의 위의 왼쪽 코너를 클릭한 뒤 다른 위치로 끌어줍니다. M button은 이동작업이 완료될 때까지 N으로 바뀝니다.
Important Note: 이미지의 이동이 성공적으로 끝나지 않으면 이미지 이동 기능은 계속 활성화 됩니다. 이미지의 이동을 생각해 보면 : 이미지가 이동될 때에 마지막 위치는 반드시 원본 이미지의 위치의 바깥에 있어야 하는데 그렇지 않으면 이동이 이루어지지 않습니다.(N button을 클릭하면 시스템은 M으로 돌아가고, 이동작업이 취소됩니다. 이미지는 spectral/image collection modes 혹은 자동 실행 과정 중에는 이동할 수가 없으며 이미지를 이동하는 가장 좋은 방법은 이미지의 위의 왼쪽 코너를 클릭해서 끌어주는 것입니다.
Spectrum Text :
표시된 스펙트럼의 어느 곳에든지 10개까지의 문장단락을 놓을 수 있습니다. 이 기능을 활성화 하기 위해서 도구 막대의 “T” button을 클릭하고(EDAX image가 표시되어 있지 않을 때), 커서를 스펙트럼위에서 이동시킴으로써 커서가 로 변하는 것을 확인할 수 있고, 이제 스펙트럼의 한 부분을 클릭함으로써 다음의 대화상자가 표시되게 됩니다.
하얀 박스에 원하는 글을 적은 후 “OK” button을 클릭하면 스펙트럼이 그 문서가 표시됩니다. “Paste” button은 스펙트럼에 clipboard text를 끼워 넣는데 유용합니다. 예로, 스펙트럼에다가 스펙트럼의 분량의 숫자를 넣기를 원하면, 다음의 단계를 실행하십시오. 스펙트럼을 collect하고 identify합니다. “Conc” menu item를 누르면 정량 결과 대화상자가 표시됩니다. 스펙트럼에다가 이것을 복사하고 싶으면 셀을 클릭하고 끌어줍니다. 일반적으로 이것은 전체 결과 테이블을 복사하는 좋은 방법이 아닙니다. 이는 표시된 스펙트럼에 들어 맞지 않기 때문입니다. 이제 결과 대화상자에서 Copy button을 클릭하고 Ok를 클릭하십시오. 만약 표시되어 있는 이미지가 있다면 먼저 Rmv button을 클릭한다. 이제 도구 막대에서 “T” button을 클릭하고 text를 적고자 하는 스펙트럼의 영역을 클릭합니다.(우리는 일반적으로 표시된 스펙트럼 위의 왼쪽을 사용한다)그리고 나서 “Paste” button을 클릭하면 아래에 보이는 것과 같이 Quantitative data를 볼 수가 있습니다.
표시된 스펙트럼에다가 이 데이터를 복사하려면 “OK”를 클릭하십시오. 도구막대의 “T”를 클릭하고, 스펙트럼의 새로운 부분을 클릭하고 나서 스펙트럼 text 대화상자에 있는 “Cancel” button을 클릭해서 마지막으로 끝에 자리잡아둔 문서를 제 위치시킬 수 있습니다.
Spectral Manipulation :
가로로 확장된 설정을 사용하려면, 스펙트럼 위에 있는 [Black] line을 마우스를 클릭한 뒤 끌어주면 됩니다. 마우스를 놓게 되면 스펙트럼이 다시 그려질 것이고 스펙트럼이 수평 방향으로 이동한 것을 확인할 수 있습니다. 끌어주는 방향에 따라서 스펙트럼은 수직으로 확장 혹은 축소 될 수도 있습니다. One step으로 전체 새로 그리기가 실행된다. Multipoint Analysis에서 스펙트럼이 이동할 수 있는 세가지 방법이 있습니다. 이 세가지 방법 모두는 가능한 KeV cursor의 위치 주변이 확장되는 데, 그래서 이동하기 전에 커서의 위치를 선택하는 것이 중요합니다.
Method 1.) 키보드의 키를 이용해서 다음과 같은 식으로 스펙트럼을 다룰 수가 있습니다.
Home –스펙트럼에서 Home Position으로 이동합니다.(800x600 Windows Resolution에서 0-24kew)
Up Arrow –수직으로 확장
Down Arrow –수직으로 축소
Page Up –수평으로 확대
Page Down –수평으로 축소
Left Arrow –커서를 왼쪽으로 이동
Right Arrow –커서를 오른쪽으로 이동
[Spectral Rubber band Methods]
Method 2) 스펙트럼이 원 위치에 있지 않고 수평으로 확장되면 왼쪽 끝 에너지 표시는 0kev보다 커지고, EDX display에서 선을 그림으로써 스펙트럼을 이동할 수 있습니다. 수직선상에서 이동한 거리는 스펙트럼의 X-axis에서 벗어나게 되고, Y-axis가 변하는 동안에 스펙트럼의 높이가 맞춰질 것입니다.[gain factor]
Method 3) 스펙트럼이 처음 위치에 있을 때, 먼저 커서를 낮은 에너지, 1keV 밑으로 이동합니다. 그 다음에 왼쪽에서 오른쪽으로 수평선을 그려주면, 스펙트럼이 one step으로 확대되게 된다. 이 방법은 먼저 첫번째 channel이 창에 표시되어야 하고, 커서가 낮은 keV를 유지해야만 가능한 작업입니다. 오른쪽에서 왼쪽으로 선을 그리면, 스펙트럼이 축소될 것입니다. 그래서 이것은 가벼운 원소의 스펙트럼 위치를 맞추는 데 좋은 방법입니다. 또한 이것은 매우 정밀하게 스펙트럼의 위치를 맞추는데 이는 스펙트럼 보정의 두가지 요소에 의해서 변화가 수행됩니다. 이 두개의 rubber band methods를 사용해서 몇 가지 연습을 하면 더 이상은 spectral control buttons을 사용할 필요가 없을 것입니다.
Spectrum Read Dialog Box
이 대화상자는 디스크(via File, Open, Filetype *.SPC)에서 스펙트럼을 읽어 오기 바로 전에 나타날 것입니다. 이것은 스펙트럼이 저장될 때의 데이터와 시간을 표시하고, 시스템에 존재하던 상수들과 스펙트럼 디스크 파일에서의 상수들을 사용하기 위한 옵션이 포함됩니다.
현재 스펙트럼의 조건들 저장하기: 스펙트럼을 읽어오기 전에 현재 시스템의 조건을 저장하도록 하십시오. 시스템의 조건을 다시 저장하려면, Main menu에서 File, Get Current Setting을 클릭하십시오.
Multi Channel Analyzer [MCA] Parameter CheckBox’s는:
KV Conditions Peak Identification List, Manual Background settings ROI setting로 구성된다.[Un-Used]
All Current Button:현재의 MCA 상수들을 유지하도록 스펙트럼 파일의 값들로 덥어 씌우지 않는다.